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Plasma-Therm LLC单反- 770 b深反应离子腐蚀装置


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设备描述
Plasma-Therm LLC单反- 770 b深反应离子腐蚀装置
制造商....等离子小卡。公司
模型单反- 770 b
爵士。# PTI 81068 f
生产日期. .10/20/1998
冲动是4“6”工具包

冲动是仅用于博世的过程。
气体连接有:-
氩、维持等离子体。
六氟化硫(SF6),硅蚀刻。
八氟环丁烷(C4F8)钝化层。
氧气(O2)室清洁。
氮(N2),发泄。

使用光致抗蚀剂掩模刻蚀硅。

规格:
标准
度规
制造商的名字
Plasma-Therm有限责任公司

年:
20 1998
20 1998

序列号:
PTI 81068 f
PTI 81068 f

模型:
单反- 770 b
单反- 770 b


维度:
标准
度规

总体:
8 x 8 x 6英尺,2200磅
243.84 x 243.84 x 182.88厘米- 997.92公斤

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