爱德华兹QMB1200真空泵

最大持续入口压力:1 mbar。
典型的轴封氮流:7 slm
预热时间:15分钟。
输入连接:ISO 160螺栓。
出口连接:NW40
石油产能:
耦合:2、4升。
轴封水库:0 13升
齿轮箱:1、25升
典型的冷却水流量:204 l / h。
额定电机功率:4 0千瓦
体重:450公斤。
最高速度:940 m3 / h。
位移:1435 m3 / h。
极限真空度:7 x10-4 mbar或5 3 x10-3托
在真空电源输入:1、7 kW。

爱德华兹智商干燥真空泵真空非常适合应用在太阳能电池制造。集成电路和平板显示器制造、太阳能电池制造取决于各种真空过程,从PECVD (plasma-enhanced化学气相沉积)"硅沉积完成模块的纹理。高注入速度和快速室自行车是必不可少的,如果这些过程以满足吞吐量需求的太阳能电池产业。我们重建爱德华兹IQDP干燥真空泵与好处,包括可靠的预先成本降低,减少能源消耗和降低维护要求。

爱德华兹QMB1200技术数据
一般QMB1200
0到1 mbar连续进气压力,0到100
最大出口压力1000 mbar 1 x 105 Pa
环境工作温度范围5 - 40°C
最高工作湿度90% RH
保护程度(所定义的IEC 529) IP44
推荐的油型Fomblin YVAC或Krytox 1514 16/6
电子数据
数量的阶段3
电源电压200 V - 208 V / 380 - 415 50赫兹
200 - 230 V / 460 V 60赫兹
电压公差±10%,除了208和415 V
50赫兹+ 6%和-10%
满载电流评级
200 - 208 V电源电压和频率50赫兹200 - 208 V 60 Hz 60赫兹380 230 V - 415 V 50赫兹460 V 60赫兹
QMB1200满载(A) 16 16 14.2 8 8
评级(千瓦)4 4 4 4 4
电动机保护热敏电阻
类型
参考温度
符合
建议控制元件
正温度系数
160°C
IEC 34-11
符合IEC 34-11
质量(公斤)157
最低冷却流(l.h-1) 75
机油容量(左)
Coupling-cover
轴封水库
齿轮箱
2.4
0.125
1.25
转速(r.min-1)
50赫兹供应
60 Hz供应
0到2900
0到3500
极限压力不
8 x身手mbar尤其气镇,永久气体
8 x 10 Pa
在泵的压差
由流体动力的驱动0到90 mbar决定
0到9 x 103 Pa
推荐前级泵QDP40或QDP80
真空连接
输入连接
插座连接
ISO160螺栓
ISO100螺栓
冷却连接
输入连接(BSP)
出口连接(BSP)
汉森快速连接
3/8英寸的男性
汉森快速连接
3/8英寸的女性
噪声数据
连续加权
声压级(dB (A))